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氮化硅-铼嬗变模拟靶材的制造和性能研究

李斌 , 凤仪 , 张学斌 , 刘慧强 , 朱艳芳 , 余东波 , 潘孝兵 , 屠荆 , 欧阳晓平 , 曹良志 , 吴宏春

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2010.z1.062

采用无压烧结的方法(在1550℃保温3小时)添加5wt.%MgO,5wt.%Y2Oa和不同含量的Re制造出了Si3N4-Re嬗变模拟靶材.研究了Re含量的不同对嬗变靶材致密度和抗弯强度的影响,并通过物相分析,显微组织和断口形貌观察对相关机理进行了分析.

关键词: Si3N4-Re嬗变模拟靶材 , 显微组织 , 力学性能

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