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用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜光谱响应改性的研究

孔令红 , 熊予莹 , 符斯列 , 陈俊芳 , 吴先球 , 唐吉玉

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.022

采用ECR氮等离子对纳米TiO2薄膜表面进行氮注入处理来改善纳米TiO2催化剂的光谱响应范围.处理后表面颜色变成微黄色,说明氮离子已注入到TiO2薄膜里;AFM观察处理前后的薄膜,发现表面形貌没有很大改变;紫外-可见光谱分析结果表明,TiO2薄膜催化剂的光谱响应红移了12-18nm;通过不同功率、不同处理时间研究显示,在微波功率为400W、处理60min改性效果最理想.

关键词: ECR氮等离子体 , 光谱响应 , TiO2薄膜 , 紫外-可见光谱分析 , AFM

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