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Sol-Gel法制备掺钛SnO2薄膜的返回特性研究

孔镇 , 许瀚朗 , 冯金垣

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.02.007

在常温、加温和紫外线三种环境下,通过对Sol - Gel法(溶胶凝胶法)制备成的5%、10%及15%钛掺杂SnO2薄膜在乙醇、丙酮两种气氛作用下进行气敏反应前后的光反射谱测试,研究薄膜的返回特性.研究分析表明,加温环境中钛掺杂SnO2薄膜的返回特性比常温环境中的效果要好很多,返回所需时间能从十小时缩短至五分钟.此外,紫外光照射下返回特性较好,返回时间较短,而且更为安全、便利,相信在未来的发展中能有更广泛的应用.

关键词: 溶胶凝胶法 , 掺钛SnO2薄膜 , 返回特性 , 气敏反应

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