饶瑞
,
徐重阳
,
孙国才
,
王长安
,
曾祥斌
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.04.019
为了满足在普通玻璃衬底上制备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器,低温(＜600℃)制备高质量多晶硅薄膜已成为研究热点.本文研究了一种低温制备多晶硅薄膜的新工艺:金属诱导非晶硅薄膜低温晶化法.在非晶硅薄膜上蒸镀金属铝薄膜,并光刻形成铝膜图形,而后于氮气保护中退火.利用光学显微镜和拉曼光谱等测试方法,研究了Al诱导下非晶硅薄膜的晶化过程,结果表明,在560℃退火6h后,铝膜下的非晶硅已完全晶化,确定了所制备的是多晶硅薄膜.初步探讨了非晶硅薄膜金属诱导横向晶化机理.
关键词:
金属诱导晶化
,
低温
,
非晶硅薄膜
,
多晶硅薄膜
孙国才
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刘祖黎
,
姚凯伦
功能材料
手性材料具有旋波性.本工作首次研究了螺旋结构手性掺杂体的几何结构参数对旋波性的影响.螺旋结构手性体的结构参数由螺旋体的螺径、螺距、线径和环数来表示.利用普通的微波圆波导测量系统,在8.5-11.5GHz频段内测量了电磁波通过不同螺旋结构手性材料后的偏转角.结果表明:螺旋体的几何结构参数对偏转角有较大影响,随着螺旋体结构参数的变化,有Cotton效应出现.这些实验结果为手性材料的设计提供了实验依据.
关键词:
手性材料
,
偏转角
,
结构参数
,
圆波导法
