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梯度α-Ta(N)/TaN双层阻挡层的制备及性能表征

刘春海 , 罗宏 , 金永中 , 宋忠孝 , 陈顺礼 , 汪渊 , 安竹 , 刘明

稀有金属材料与工程

提出了一种梯度氮化法制备出低阻、高稳定性的a-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层.该方法有效地避免了异质元素的引入和高N含量导致的高电阻率.用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)进行薄膜电性能和结构的表征.分析结果表明,梯度氮化工艺能调控金属Ta膜的相结构和金属Ta中的N原子浓度,从而获得低阻a-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层结构.600℃高温老化退火的实验结果进一步证明此结构具有高的热稳定性.

关键词: 扩散阻挡层 , 电阻率 , 热稳定性 , 微结构

腐蚀液配方对刻蚀高阻硅多孔阵列结构形貌影响的研究

蒋稳 , 邹宇 , 伍建春 , 展长勇 , 朱敬军 , 安竹 , 杨斌 , 黄宁康

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.15.020

采用电化学刻蚀方法,在n型高阻单晶硅片上进行有序多孔阵列的制备.就腐蚀液配方的改变对制备的多孔阵列结构的形貌进行观察研究.研究表明,在其它相同的实验条件下,改变组元乙醇的比例,制备的多孔阵列结构形貌会有显著的差别.随着腐蚀液中组元乙醇含量的减小,制备的多孔阵列结构中的孔的表面及断面形貌逐渐显得光滑、平整.当改变腐蚀液配方中的HF浓度时,制备的多孔阵列结构中的孔的大小及深度也随之改变,对此的机制进行了探讨.

关键词: 中子探测器 , 电化学刻蚀 , 多孔硅阵列 , 形貌

谷物种子中蛋白质含量测定的核反应分析法

罗小兵 , 张软玉 , 陈世国 , 李泰华 , 安竹 , 曹养书 , 何福庆 , 彭秀峰

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2004.01.013

分析了在高蛋白质谷物育种中对筛选方法的要求, 对谷物中蛋白质测定的方法进行了综述评价, 重点介绍了用于谷物蛋白质测定的核反应分析法的原理及特点.

关键词: 蛋白质 , 育种 , 核反应

电子原子碰撞K壳层电离截面研究

安竹 , 刘慢天 , 唐昶环 , 付玉川 , 彭秀峰 , 何福庆 , 罗正明

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2003.04.009

近年来, 研究组发展了一套利用厚衬底薄靶测量电子原子碰撞内壳层电离截面的方法. 该方法具有避免制作自支撑薄靶困难的优点. 最近, 又采取了一些措施来提高该方法测量数据的精度. 首先评述了近年来该领域的一些研究进展, 并通过测量Cr元素在小于26 keV能量范围K壳层电离截面的例子介绍了研究组的实验方法. 同时, 也对8种低Z元素和16种中﹑高Z元素在keV能区的实验数据和理论模型﹑经验公式进行了比较, 并对目前电子原子碰撞K壳层电离截面的实验测量和理论研究的现状及需进一步开展的工作进行了讨论.

关键词: 电子原子碰撞 , K壳层电离截面 , 卢瑟福背散射 , 蒙特卡罗模拟

正电子湮没寿命谱技术应用于聚合物微观结构研究的进展

廖霞 , 张琼文 , 何汀 , 安竹 , 杨其 , 李光宪

高分子材料科学与工程

聚合物的晶区堆砌密度、无定形区自由体积的尺寸和数量、晶区-非晶区的界面等微观结构,对其宏观性能,如渗透性能、力学性能、松弛行为等有重要影响.正电子湮没寿命谱技术是一种强有力的微观结构探测与表征技术,能够灵敏有效地探测聚合物的晶区堆砌密度、无定形区自由体积以及两相界面等信息,从而提供了一种直接、简单的研究聚合物微观结构的途径.文中介绍了该技术的基本原理和应用理论,综述了该技术在聚合物研究领域的应用,如:聚合物本征特性与自由体积之间的关系,应力、辐照、外界压力、物理老化等外界因素对聚合物微观结构的影响,以及聚合物共混物、复合材料的相容性和界面特性等.最后总结了正电子湮没寿命谱技术在聚合物微观结构研究中存在的问题.

关键词: 正电子湮没寿命谱 , 聚合物 , 自由体积 , 微观结构

蒙特卡罗方法在低能电子致原子内壳层电离截面测量中的应用

吴英 , 安竹

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2006.01.014

在Monte Carlo方法模拟keV电子碰撞薄膜/厚衬底靶过程中,输入材料数据中采用的内壳层电离截面数据不同,得到的反映膜厚及衬底对电离截面测量结果影响的修正因子值也有差别.讨论了Monte Carlo模拟得到的修正因子值受输入材料数据中内壳层电离截面影响的程度,并完成了入射keV电子在法拉第筒中逃逸率的估算工作.

关键词: 内壳层电离截面 , Monte Carlo模拟 , 修正因子

成都金沙遗址古代陶片的PIXE和RBS分析

叶沥 , 刘慢天 , 黄伟 , 杨盛 , 安竹

原子核物理评论

成都金沙遗址的年代覆盖了商代晚期至西周时期(公元前1200年-公元前650年),一般被认为是三星堆文化的延续.初步建立了质子激发X射线发射(PIXE)和卢瑟福背散射(RBS)实验装置,并采用PIXE和RBS方法研究了从金沙遗址出土的部分陶片的元素组成.通过因子分析,观察到来自不同地层的陶片的元素组成存在一定的差异,这可能意味着制作陶器的陶土在不同时期取自不同的地点.也观察到来自不同发掘坑的陶片的元素组成没有明显的聚类现象,这可能意味着制作不同使用用途的陶器所用的陶土是没有区别的.

关键词: PIXE , RBS , 陶器 , 金沙遗址

氚分析的β衰变诱发X射线谱技术研究进展

毛莉 , 陈浩 , 孙洪伟 , 安竹 , 邬琦琦

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.31.03.391

介绍了氚分析的β衰变诱发X射线谱( BIXS)方法的发展历程和研究现状。叙述了刻度曲线法、解析方法和蒙特卡罗模拟结合Tikhonov正则法等三种不同解谱技术的BIXS方法的特点,重点介绍了课题组近年来开展的研究工作和取得的进展,包括蒙特卡罗模拟和Tikhonov正则法的引入,氚β衰变内韧致辐射、样品表面粗糙度、氚含量以及实验装置几何参数误差对分析结果影响的研究和应用等,同时也提出了BIXS方法需进一步开展的研究工作。

关键词: 氚分析 , 蒙特卡罗模拟 , Tikhonov正则化

吸入性氚化粒子在人体肺部组织中吸收剂量的研究

孙若凡 , 毛莉 , 邬琦琦 , 安竹

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.32.02.212

涉氚核设施在检修及退役时,其产生的氚化粒子容易被工作人员误吸入,并在呼吸系统的不同部位停留,部分尺寸较小的粒子可能在肺泡间质区(AI区)停留超过1年的时间。氚粒子通过β衰变释放电子,在释放电子的同时以及释放的电子与周围原子相互作用还会分别产生出内、外轫致辐射,这些都会对人体肺部组织造成辐射损伤。本文采用蒙特卡罗程序PENELOPE对多种氚化粒子在人体肺部组织中的吸收剂量进行了模拟计算,特别是讨论了氚β衰变的内轫致辐射的贡献。研究发现,电子辐射对人体肺泡产生的吸收剂量大于外、内轫致辐射,但后两者作用距离较长,对人体造成的影响重要;电子辐射吸收剂量随着粒子尺寸的增大以及金属原子序数的增大而减小;外轫致辐射吸收剂量随着粒子尺寸的增大而减小,随着金属原子序数的增大而增大;内轫致辐射吸收剂量随着粒子尺寸的增大以及金属原子序数的增大而减小。

关键词: 氚化粒子 , 肺泡-间质区 , 吸收剂量

多种β射线阻挡层及X射线产额精度对BIXS技术的影响

黄郁旋 , 毛莉 , 丁伟 , 安竹

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.33.01.045

氚分析在聚变堆与核技术的研究中有着广泛的应用。BIXS技术(β衰变诱发X射线谱技术)是一项无损的氚分析技术,该技术的分析深度对于高原子序数的材料能达到100μm,对低原子序数的材料能达到1 mm。在BIXS技术中,采用金属薄膜作为β射线阻挡层具有排除极化韧致辐射干扰、减少探测器信号堆积等优点。为了研究多种β射线阻挡层材料对BIXS技术的影响,利用Monte Carlo方法PENELOPE并行模拟程序分别模拟了采用Al、Au金属薄膜和Ar气作为β射线阻挡层的BIXS技术,并使用GENEREG反演程序对模拟结果进行反演计算及比较。还讨论了韧致辐射与特征X射线产额计算精度、韧致辐射谱倾斜对BIXS技术的影响。研究表明Al金属薄膜最适合用作BIXS技术的β射线阻挡层。

关键词: BIXS技术 , β射线阻挡层 , 特征X射线 , 韧致辐射

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