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骆金龙 , 应萱同
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.016
报道了化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量，提出了监控金刚石薄膜生长的激 光反射多光束干涉的数学模型。通过原位反射率的测量，精确监控了金刚石薄膜的生长厚度, 成功地制备了红外增透膜。这种方法的测量装置简单、紧凑而且可靠。
关键词: CVD , 金刚石薄膜 , 原位测量 , 反射率
