廉冰娴
,
许兵
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.014
通过实验制备了几种不同厚度的氧化钛薄膜,从膜的形成机理及氧化着色原理,得出薄膜厚度随电压增加而增加,且其增加速率大致在2.5 nm/V.重点剖析了氧化钛薄膜的氧化着色原理,并通过实验模拟分析了氧化膜形成机理,为后续研究提供了参考.
关键词:
阳极氧化
,
氧化薄膜
,
厚度
,
原理剖析
,
模拟
邱望标
,
许兵
,
杨绿
,
廉冰娴
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2008.09.004
在玻璃表面上通过磁控溅射金属钛薄膜,再运用阳极氧化使钛薄膜氧化生成纳米氧化钛,经过8 h,180℃的退火处理使其晶化.运用扫描电镜观察了晶化处理前后薄膜的表面形貌,用电子探针对薄膜进行了表征.通过X-射线衍射图谱表明,晶化处理后薄膜具有典型的晶体结构衍射峰尖锐特征,为锐钛矿纳米晶氧化钛薄膜;电子探针成分分析与X-射线衍射结果一致.最后讨论了其应用前景.
关键词:
磁控溅射
,
阳极氧化
,
晶化
,
表征