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李红军 , 卢振武 , 廖江红 , 翁志成
量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2001.z1.007
衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着越来越重要的作用.使用薄膜沉积法和离子束刻蚀法制作16阶菲涅耳透镜,应用于折衍混合CCD相机.进行CCD相机光学系统成像质量评价和室外成像实验.该透镜的引入,不仅改善系统成像质量,而且实现了系统的轻量化、小型化,增加了系统设计的自由度.
关键词: CCD相机 , 菲涅耳透镜 , 离子束刻蚀 , 薄膜沉积 , 衍射效率
