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磁控溅射参数对(Ba,Sr)TiO3薄膜择优取向生长的影响

王梦 , 张发生 , 刘根华 , 于军

人工晶体学报

采用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了(Ba,Sr)TiO3薄膜.基于薄膜的形核理论,研究了溅射气压、靶基距、衬底温度和溅射功率等溅射参数对(Ba,Sr) TiO3薄膜择优取向生长的影响.实验结果表明:磁控溅射中,较高衬底温度(600℃)有助于钙钛矿成相;通过改变磁控溅射参数,能得到(111)、(001)、(110)择优取向的薄膜.

关键词: BST , 择优取向 , 磁控溅射 , 形核

冷却气膜射流对涡轮叶栅气动性能的影响

张发生 , 戴韧

工程热物理学报

本文在平面叶栅风洞上实验测量了设计工况下,具有压力面及吸力面单排离散气膜孔射流的导向叶栅卜游流场,对比研究不同射流比时叶型损失的变化。实验中主流与射流采用相同的工质。结果表明:压力面射流及吸力面射流时,平均总压损失随射流比的增加均表现出先减小后增大的变化趋势,但是损失增大或减小的数值不同,吸力面射流及压力面射流都会使尾迹区发生改变。高压射流气体的动量和质量对损失数值的影响,在小射流比时可以忽略,但是在大射流比时则必须要考虑,才能准确地反映叶型流动损失。

关键词: 平面叶栅 , 气膜射流 , 损失系数 , 叶片尾迹

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