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化学气相沉积-后退火法制备MgB2超导薄膜

张正平 , 王松 , 薛涛 , 秦水介

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2007.03.001

本文提出在高真空镀膜系统中通过化学气相沉积(CVD)的方法沉积高纯度的先驱B膜,再经过后退火工艺,Mg扩散进入先驱膜而反应生成了MgB2超导薄膜.经过多种实验方法检测,这种薄膜具有较为优异的超导性能,是一种和传统微电子工艺兼容、适宜于工业化大规模生产MgB2超导薄膜的方法.

关键词: MgB2 , 超导薄膜 , CVD , 后退火

低激光能流沉积高质量的NdB2Cu3O7-x/YBa2Cu3O7-y高温超导薄膜

张正平 , 王殿生 , 傅兴华 , 杨健

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2001.03.002

采用脉冲激光方法,先在YSZ(yttria stablized zirconia)衬底上制备(YBa2Cu3O7-y)/YSZ高温超导薄膜,再用较低的激光能流密度(1.2~1.0Jcm-2)沉积一层NBCO(NdB2Cu3O7-x)薄膜,形成NBCO/YBCO/YSZ双层超导薄膜.在制备完当时,存放40天和存放400天后分别对薄膜进行了X射线衍射分析和电阻-温度曲线测量.结果表明, NBCO/YBCO/YSZ双层膜的转变温度、结晶度和表面稳定性及光滑度都优于YBCO/YSZ薄膜的.在YBCO/YSZ上使用较低的激光能量可以制备出优质的c轴取向NBCO高温超导薄膜.

关键词:

在多晶Al2O3衬底上化学气相沉积MgB2超导薄膜

张正平 , 王殿生 , 傅兴华 , 杨健

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2002.03.003

报道了制备MgB2超导薄膜的一种新方法和测量结果.MgB2超导薄膜的制备采用的是两步异位退火方法,但与现有报道的方法不同的是,制备硼(B)先驱膜采用的是化学气相沉积方法,在460℃温度下热分解乙硼烷(B2H6)沉积的,然后镁(Mg)蒸气中分别在730℃、780℃和830℃条件下退火,生成MgB2超导薄膜.扫描电子显微镜观察表明制备薄膜是多晶的,MgB2晶粒小于2μm.X衍射分析发现所生长的薄膜是随机取向的.800℃条件下退火生成的MgB2超导薄膜起始转变温度和零电阻温度分别达到35K和24K.结果表明,采用B2H6热分解化学气相沉积B先驱膜的方法在优化的沉积条件和退火条件下可以制备高质量的MgB2超导薄膜.我们这种化学气相沉积MgB2超导薄膜方法在大面积的MgB2超导薄膜制备方面较脉冲激光沉积方法具有优势,并且与现有的半导体工艺技术相兼容,有利用实现MgB2超导薄膜在电子器件方面的应用.

关键词:

高浓度激活剂掺杂钡镁铝酸盐的发光特性研究

邓朝勇 , 周勋 , 马凯英 , 张正平 , 丁召 , 傅兴华

中国稀土学报

采用高温固相反应法合成了Eu2+激活的BaMgAl10O17Eu2+荧光粉,并对其发射特性进行了研究.当激活剂离子Eu2+浓度逐步增加时,在254 nm紫外以及147 nm真空紫外激发下,其发射强度和色坐标,,值都体现出了相似的变化规律.在高激活剂离子浓度的BaMgAl10O17:Eu2+ 中存在激活剂离子浓度猝灭现象,同时也对高激活剂离子浓度条件下体系的相关系,以及其对发射特性的影响进行了分析.

关键词: 钡镁铝酸盐 , 浓度猝灭 , 激活剂离子 , 相对发射强度 , 稀土

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