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W/Mo纳米多层膜的界面结构与超硬效应

李戈扬 , 韩增虎 , 田家万 , 张流强 , 顾明元

稀有金属材料与工程

研究了W/Mo纳米多层膜的微结构及超硬效应.W/Mo纳米多层膜采用磁控溅射技术制备,并采用XRD、TEM和显微硬度计研究了薄膜的微结构和硬度.结果表明,W/Mo纳米多层膜形成多晶外延生长的超晶格结构;界面共格畸变使W,Mo两调制层的晶面间距随调制周期的减小而相互接近,在多层膜中形成交变应力场,从而使薄膜得到强化.

关键词: W/Mo纳米多层膜 , 界面结构 , 超晶格 , 超硬效应

W/Mo超晶格薄膜的微结构研究

李戈扬 , 张流强 , 许俊华 , 吴亮 , 李鹏兴 , 顾明元

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.1999.03.006

纳米多层膜因常出现物理或力学性能的异常而成为薄膜研究的热点之一.采用XRD和TEM技术研究了W/Mo纳米多层膜微结构.结果表明,W和Mo由于同为体心立方结构,且晶格常数相近,由它们交互重叠形成的纳米多层膜具有柱状晶穿过调制界面外延生长的结构特征,形成多晶超晶格结构.

关键词: W/Mo纳米多层膜 , 超晶格 , 磁控溅射

粗糙表面的统计研究

张流强 , 肖海军 , 董海龙

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2011.04.027

论述了粗糙表面的表征方法,根据表面形成的随机特性,将粗糙表面的高度分布归为二项式分布.根据粗糙度取值的不同,讨论了泊松分布表面和高斯分布表面的高度分布特点和表面截面积及相对密度的分布情况.对表面接触状态进行了初步分析,认为表面接触存在一定的嵌入深度,并且根据嵌入深度可以估算表面接触面积.分析结果表明:泊松表面和高斯表面的高度分布、相对截面积和相对密度分布以及接触面积随嵌入深度的增长情况有显著差别.

关键词: 表面 , 粗糙度 , 接触面积 , 二项式分布 , 统计

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