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ZrO2-SiO2膜的制备和结构研究

黄永前 , 郑昌琼 , 胡英 , 张育林

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以正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料,用溶胶-凝胶法制备了无支撑ZrO2-SiO2膜.应用DTA-TG、XRD、SEM和BET 等测试技术对无支撑ZrO2-SiO2膜的结构、表面形貌和孔径进行了表征,结果表明ZrO2-SiO2凝胶膜虽在467℃开始出现少量单斜ZrO2,但在500℃和1200℃热处理后的主晶相均为四方 ZrO2,显然SiO2的存在阻碍了四方相ZrO2向单斜相ZrO2转变的过程,ZrO2-SiO2膜具有比ZrO2膜更高的热稳定性,在950℃烧结的无支撑ZrO2-SiO2膜孔径稍呈双峰分布,其最可几孔径为3.35nm.

关键词: ZrO2-SiO2膜 , 溶胶-凝胶 , 制备 , 结构 , 热稳定性

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