杨坤
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胡志强
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徐书林
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王海权
,
于洋
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刘贵山
,
姜妍彦
,
张海涛
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2014.03.013
用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行了分析.结果表明:薄膜的平均晶粒尺寸随衬底温度的升高而增大;当溅射时间增加时,方块电阻与光透过率均减小;当衬底温度升高时,方块电阻减小,可见光透过率增大.
关键词:
脉冲磁控溅射
,
氧化铟锡薄膜
,
PET
