李赞
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吴晓宏
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姜文锐
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施云波
材料科学与工艺
针对无机半导体气体传感器材料可修饰性差、工作温度高等缺点,开展了新型金属酞菁类有机半导体气敏材料的研究,并对敏感材料进行了表征,测试结果与化学结构和理论值一致.采用微电子工艺制备平面叉指电极,采用旋涂技术,在叉指电极上形成敏感膜,对制备的旋涂膜进行红外光谱(IR)和原子力扫描电镜(AFM)表征,AFM图像表明薄膜表面均匀、平滑和致密.按照静态法测试了薄膜对NO2气体的气敏特性,结果表明,在室温和50℃时质量浓度为6.5 mg/mL的PbPc(iso-PeO)8旋涂膜相较于CuPc(iso-PeO)8、NiPc(iso-PeO)8旋涂膜表现出对NO2气体更好的敏感性和响应恢复性.
关键词:
有机半导体
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气敏材料
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NO2
施云波
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郭建英
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张洪泉
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时强
稀有金属材料与工程
针对超薄型Al2O3易碎加工难的问题,提出激光微加工的方法.阐述了激光微加工的原理.通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲.论述了纳米孔Al2O3膜的电化学定向生长及其微加工过程,扫描电镜揭示了纳米孔Al2O3膜易碎易断的内在原因,加工区域略有灼烧现象.分析了激光输出脉冲频率和电流对陶瓷膜的刻槽深度和宽度的关系,影响区最小时,调Q频率在9 kHz左右.电流应控制在10～20A.
关键词:
激光微加工
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纳米孔陶瓷膜
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声光调Q频率
