李晏平
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刘志宏
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李玉虎
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刘智勇
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李启厚
中国有色金属学报
采用XRD、SEM和XRF等表征方法研究In2O3、SnO2及其混合粉(In2O3与SnO2质量比为9：1)在N2、空气及O2气氛下于1300~1600℃烧结过程中的粉末分解质量损失、反应固溶、新相生成及孔洞形成等行为，以期为高密度铟锡氧化物(ITO)靶材制备奠定基础。结果表明：在1300~1600℃高温烧结中，In2O3和SnO2均分解升华， SnO2较In2O3更易于分解，增大烧结气氛的氧分压，有利于抑制分解反应的发生；在O2气氛下，ITO粉在1500℃开始显著分解产生质量损失；ITO粉在N2、空气和O2气氛中于1300℃下烧结4 h，样品中均存在SnO2相；于1400℃下烧结4 h，SnO2相消失，In4Sn3O12相出现；随着烧结温度的进一步升高，In4Sn3O12分解消失，其分解温度随烧结气氛氧分压增大而提高；在O2气氛下烧结，所得ITO粉晶格常数最低，且较为稳定，颗粒收缩较均匀，有利于高密度ITO靶材制备。
关键词:
In2O3
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SnO2
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烧结行为
