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化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移方法及转移用支撑材料的研究进展

蔡伟 , 王聪 , 方小红 , 陈小源 , 杨立友

机械工程材料 doi:10.11973/jxgccl201511002

根据化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移过程中支撑物的不同,将转移方法分为聚合物支撑法、非聚合物支撑法以及无支撑法,重点对聚合物支撑法用支撑材料进行了分析,并对相关的转移技术进行较完整的总结,并指出了未来的研究方向。

关键词: 石墨烯 , 化学气相沉积 , 支撑材料 , 转移技术

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