柴欣
,
李力
,
梅炳初
,
董学斌
,
朱建勇
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.10.010
在两种经不同预处理的硬质合金YG8基底上,采用微波等离子体化学气相沉积法,在微波功率2 kW,压强4.0 kPa和6.5 kPa,CH-4和H-2流量分别为1.6 cm/s和100.0 cm/s的条件下生长金刚石薄膜.利用X射线衍射检测了金刚石薄膜是否存在,用拉曼光谱分析了薄膜的质量,用金相显微镜观察了薄膜的洛氏硬度压痕,标定并比较了不同预处理工艺膜与基底的结合力.实验结果表明,不同的预处理方法对于粘结力的影响不大,最主要的因素是钴含量的多少.
关键词:
金刚石薄膜
,
粘结力
,
硬质合金YG8
,
微波等离子体
,
洛氏硬度压痕
朱建勇
,
梅炳初
,
李力
,
柴欣
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.10.003
在真空条件下采用氢气刻蚀二氧化硅形成硅膜,用微波等离子化学气相沉积法在玻璃上生长金刚石薄膜,并用X射线衍射、Raman光谱和光电子能谱对石英玻璃上的金刚石薄膜进行分析,指出其形成中间层SiO-2/Si/SiC/C(金刚石)是在石英玻璃上生长金刚石薄膜的关键.
关键词:
化学气相沉积法
,
X射线衍射
,
Raman光谱
,
光电子能谱
,
金刚石薄膜
