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离子束辅助沉积Fe-N薄膜的相形成

江海 , 武庆兰 , 陶琨 , 李恒德

金属学报

用离子束辅助沉积方法合成Fe-N薄膜,用离子束背散射和X射线衍射方法分析薄膜成分和结构.结果表明,薄膜的组分(α-Fe,ζ-Fe2N,ε-Fe(2-3)N,γ'-Fe4N相等)取决于沉积参数。给出了沉积温度和N/Fe原子到达比组成的相区域图.

关键词: 氮化铁 , iron nitride , magnetic film

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