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YBCO大面积超导薄膜沉积工艺与微结构研究

王小平 , 王瑞坤 , 刘援 , 古宏伟 , 袁冠森 , 郝建民 , 温业礼

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.1999.06.011

采用中空柱状阴极直流磁控溅射方法制备了大面积YBCO超导薄膜.应用XRD方法,对在30×30mm2LaAlO3衬底上沉积的YBCO薄膜进行了结晶完整性、均匀性的测定.对同一样品,使用透射电子显微镜对薄膜和衬底间的界面进行了研究.

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