张光辉
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孔令峰
,
潘倩
,
黎学明
功能材料
采用电化学阳极氧化法,将预光刻图案的p型硅片制备成阵列多孔硅.讨论电化学阳极氧化条件对阵列多孔硅形貌的影响.结果表明:随着HF浓度、电流密度、阳极氧化时间的增大,阵列多孔硅的孔深逐渐加大;当HF:C2H5OH:H2O(体积比)为1:1:1～1:2:5,电流密度为1.56mA/cm2,阳极氧化时间为3h时,制备出的阵列多孔硅具有比较规整的阵列孔,并且孔深能够达到50pm;表面活性剂对阵列孔的形成有很大影响,加入表面活性剂后形成的孔才具有一定的规整性以及深宽比.
关键词:
阵列多孔硅
,
电化学
,
阳极氧化
,
表面活性剂
潘倩
,
游波
,
黎学明
功能材料
多面体低聚硅倍半氧烷(POSS)是一种新型有机一无机纳米材料.由于其具有优异的光学、电学、力学和热稳定性能,利用具有笼状结构的POSS带有的一个或多个具有反应活性的官能团进行聚合、接枝、表面改性等将POSS引入聚合物分子链段,制备有机/无机纳米复合材料,可以明显改善聚合物的光、电、热等性能.综述了POSS/聚合物纳米复合材料的制备及其在光电材料中的研究进展.
关键词:
多面体低聚硅倍半氧烷(POSS)
,
聚合物,纳米复合材料
,
光电应用
