黄蓉
,
焦继伟
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.016
提出了一种新型的腔体式共面波导型微机械射频开关的结构,可动的金属/电介质的复合膜结构的共面波导既可作射频开关,同时也构成微波信号的传输路径.在普通电阻率(4-8Ω·cm)的硅片上,采用表面微机械加工技术制作出体积大小为:1000μm×600μm×300μm的射频开关,驱动电压为35V,在射频信号频率为50MHz到10GHz的范围内,该开关的插入损耗低于2dB,隔离度高于40dB.
关键词:
微电子机械系统
,
射频开关
,
共面波导
邢向龙
,
焦继伟
,
王跃林
,
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.02.013
实验研究一种新颖的光刻胶牺牲层的接触平坦化(contact planarization)技术,应用于MEMS结构制作.实验研究了温度与光刻胶流动性的关系,以及牺牲层厚度、施加压力和温度、MEMS结构密度等因素对平坦化效果的影响,在优化条件下,牺牲层的起伏台阶从2μm减小到20～40nm.与化学机械抛光技术相比,接触平坦化无明显凹陷(Dishing)效应,无衬底损伤,同时呈现出良好的局部和总体均匀性.
关键词:
MEMS
,
接触平坦化
,
化学机械抛光
,
均匀性
,
凹陷效应
