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用纳米非晶Si/N/C粉原位合成Si_3N_4晶须

李亚利 , 梁勇 , 高阳 , 肖克沈 , 郑丰 , 王亚庆 , 胡壮麒

材料研究学报

采用激光诱导有机硅烷气相合成的纳米非晶Si/N/C粉为原料,在1600℃,101.3kPaN2气下,在石墨感应炉中原位制备出α-Si3N4晶须,其直径为0.1-0.5μm,长可达几毫米,纯度较高,无过剩碳及金属杂质

关键词: Si_3N_4 , whiskers , nano-powder , amorphous , Si/N/C

激光化学气相反应生长Ti(C,N)薄膜的成分及微观结构

张炳春 , 李梅 , 王亚庆 , 冯钟潮

材料研究学报

运用XRD、EPMA、TEM等手段分析在Ti—6Al—4V基材上用激光化学气相反应生长的Ti(C,N)薄膜的成分、结构、显微组织可在基材表面形成大面积均匀的Ti(C,N)膜层,为无明显择优取向的等轴纳米晶,其中有少量的Ti2N相,且Al、V含量低于基材。

关键词: 激光 , chemical vapour growth of thin film , Ti(C

激光低温沉积金刚石膜

冯钟潮 , 张炳春 , 赵岩 , 王亚庆

材料研究学报

用XeCl紫外与CO2红外复合激光化学气相沉积方法,在340℃硅衬底上沉积成高纯金刚石膜。

关键词: 金刚石 , null , null , null

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