赵明
,
王海容
,
蔡黎
,
朱艺
,
龚茂初
,
陈耀强
稀有金属材料与工程
用浸渍法制备了Pd/γ-Al_2O_3和Pd/Ce_(0.65)Zr_(0.35)O_22种甲醇分解催化剂.采用XRD,NH_3-TPD(NH_3-Temperature-Programmed Desorption),XPS及H_2-TPR(H_2-Temperature.Programmed-Redution)等手段对2种催化剂的结构和性能进行表征,并考察了催化剂上甲醇低温分解的活性.结果表明,Pd/Ce_(0.65)Zr_(0.35)O_2催化剂具有较弱的表面酸性及良好的低温还原性能;XPS结果表明2种催化剂中的Pd均以氧化态形式存在,并且Pd在Ce_(0.65)Zr_(0.35)O_2固溶体上呈高度分散状态,Pd与Ce间具有较强的相互作用.结合活性考察可知,pd~+的存在有利于甲醇的分解.Pd/Ce_(0.65)Zr_(0.35)O_2催化剂具有高的催化活性,220℃时甲醇转化率接近100%.
关键词:
γ-Al_2O_3
,
Ce_(0.65)Zr_(0.35)O_2
,
Pd催化剂
,
甲醇分解
朱强
,
蒋庄德
,
赵则祥
,
王海容
,
杨树明
稀有金属材料与工程
对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽度方向挠曲、梁支座附加挠曲等影响.在考虑这些因素的基础上,得到了悬臂梁的有效挠度,利用有效挠度与载荷之间的关系,评价悬臂梁材料的弹性模量.对单晶硅(100)悬臂梁试样进行了实验,得到其弹性模量为155 GPa±9.5%GPa,与参考文献值符合较好.表明在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量,只有综合这些影响因素后,才能获得有效、准确的弹性模量测量结果.
关键词:
悬臂梁法
,
微构件
,
弹性模量
,
MEMS
,
纳米压入仪
周志涛
,
王海容
,
蒋庄德
,
刘冲
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.018
对于热压印光刻而言,制备具有精确几何结构、良好耐磨损性能以及长使用寿命模板至关重要.在分析现有Si或SiO2模板使用性能基础上,提出了在TiN涂层/玻璃基体上制备热压印模板.首先采用直流磁过滤电弧在玻璃上沉积TiN薄膜,然后,通过聚焦离子束在薄膜上加工出最小线宽71nm的栅型结构,最后,使用所加工的模板,进行热压印实验,获得了良好的压印结果.实验结果表明,TiN作为模板材料可以获得高保真度的纳米图案,并且由于TiN比Si或SiO2具有更高硬度和强度,玻璃基体也具有很好的机械性能,由TiN/玻璃系统制备的压印模板的机械性能和使用寿命较之Si或SiO2基模板得到很大提高.
关键词:
纳米压印光刻
,
热压印
,
压印模板
,
聚焦离子束
,
硬质涂层
赵则祥
,
蒋庄德
,
王海容
稀有金属材料与工程
在介绍纳米压入法微机械力学性能测量原理的基础上,提出了纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的I,II类影响因素的观点,并将I类影响因素分为直接和间接影响因素,将II类影响因素分为主要影响因素和次要影响因素.在阐述由这些因素产生的测量不确定度的评价方法基础上,对单晶硅(111)体材的硬度和弹性模量进行了测量与评定,其硬度和弹性模量的评定结果分别为13.57GPa±0.85GPa和156.33GPa±7.85GPa.
关键词:
纳米压入
,
MEMS
,
力学性能
,
不确定度
周向阳
,
蒋庄德
,
王海容
稀有金属材料与工程
对等离子法制备的400 nm厚Cu膜-Si(100)基底系统(退火温度为300 ℃)进行了纳米压入实验,目的是寻找一种可靠的软金属薄膜本征模量的评定方法.研究结果表明:基于等模量假设的计算方法可以有效避免材料堆积行为和最小化基底效应对薄膜弹性模量评定的显著影响.结合使用连续刚度测试(CSM)技术,Oliver-Pharr分析法中材料蠕变及热漂移行为的误差影响因素也被消除.利用这种方法得到的Cu膜弹性模量为(92.2±1.8)GPa,和文献值符合较好.与通用的利用数学模型从复合模量中分离出薄膜模量的方法相比,这种方法更为准确和简便.
关键词:
纳米压入
,
软金属薄膜
,
力学性能
,
弹性模量
,
铜
