肖剑荣
,
徐慧
,
李幼真
,
刘雄飞
,
马松山
,
简献忠
中国有色金属学报
使用CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了a-C:F:H薄膜样品.采用拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了测试和分析.研究发现:该膜呈空间网状结构,膜内碳与氟、氢的结合主要以sp3形式存在,而sp2形式的含量相对较少;在薄膜内主要含有C-Fx(x=1,2,3)、C-C、C-H2、C-H3等以及不饱和C=C化学键;同时,薄膜中C-C-F键的含量比C-C-F2键的含量要高.在不同功率下沉积的薄膜,其化学键结构明显不同.
关键词:
a-C:F:H薄膜
,
等离子体增强化学气相沉积
,
低介电常数
,
化学键
简献忠
,
裴云天
,
孙胜利
,
叶富勇
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.03.019
文章介绍了一种带读出电路的1024元短波MCT红外等角度扫描成像系统.叙述了该扫描成像系统的构成,在图像处理中应注意的两个主要问题:探测器非均匀性校正和行列图像信号的修正.该扫描成像系统采用国产1024元线列MCT(碲镉汞)焦平面器件,自行研制的同轴透射式光学系统和一维等角度并行扫描方式,扫描效率超过88%,扫描半周期为5秒,每帧像素为1024×1600.该系统在野外获得了较为理想的红外图像.
关键词:
MCT1024元焦平面阵列
,
非均匀校正
,
行列图像修正
,
等角度扫描成像系统