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热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响

赵丽丽 , 翟春雪 , 朱红丹 , 廖付友 , 刘艳秋

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.18.006

采用无水溶胶-凝胶技术制备了钛酸锶钡光学薄膜,研究了预处理温度对钛酸锶钡薄膜表面形貌的影响,系统分析了退火温度对钛酸锶钡薄膜的相结构、微观形貌和光学性能的影响.结果表明,膜的物相、结构和形貌均对其光学性能起决定作用,制备致密、均匀的晶态薄膜是使钛酸锶钡薄膜具有高的光学透过率、大的折射率和小的消光系数的关键.通过150℃预处理和850℃退火获得了晶化程度良好,表面形貌平整、致密的钛酸锶钡薄膜,该膜在350~1000nm的最大光透过率为80.72%,在600~1000nm的折射率稳定在约1.93,在400~1000nm范围消光系数稳定在约4×10-5.

关键词: 钛酸锶钡 , 薄膜 , 预处理 , 退火 , 光学性能

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