胡立业
,
杨传仁
,
符春林
,
陈宏伟
功能材料
采用射频(RF)磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了Ba0 6Sr0.4TiO3(BST)薄膜.通过研究BST薄膜的电容-偏压(C-V)特性曲线发现,溅射过程中的离子注入引起底电极/铁电薄膜界面处产生了过渡层,从而导致C-V曲线不对称.最后我们通过改进溅射工艺对这一机理进行了实验验证.
关键词:
钛酸锶钡
,
薄膜
,
C-V曲线
,
不对称
,
界面
符春林
,
杨传仁
,
陈宏伟
,
王迎新
,
胡立业
材料导报
铁电薄膜是一类重要的功能材料,铁电畴是其物理基础.综述了铁电薄膜中电畴的表征方法(高分辨透射电镜、扫描力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱等)、类型(c畴和a畴、180°畴和90°畴等)、临界尺寸(单畴临界尺寸和铁电临界尺寸)等方面的研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.
关键词:
电畴
,
铁电薄膜
,
临界尺寸
,
表征方法
