李明
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蒋志红
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沈德芳
无机材料学报
本文用直流磁控溅射方法制备了Co/Pt多层膜,并对其进行了较为细致的真空退火处理,结果表明,适度的低温退火可增加Co/Pt多层膜的矫顽力,而并不削弱其磁滞克尔回线的矩形特征.当退火温度达到300℃以后,Co/Pt多层膜的矫顽力、垂直各向异性和克尔角将强烈下降,晶体结构的改善及应力的释放、晶粒的增长、层间原子扩散引起的Co层有效厚度减薄,进而居里温度的下降,分别是Co/Pt多层膜在低温、中温、高温退火过程中,磁及磁光性能变化的主要机制.
关键词:
磁光薄膜
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