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ELID磨削硬脆材料精密和超精密加工的新技术

张飞虎 , 朱波 , 栾殿荣 , 袁哲俊

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.1999.01.011

金属基超硬磨料砂轮在线电解修整(Electrolytic In-process Dressing, 简称ELID )磨削技术是国外近年发展起来的一种硬脆材料精密和超精密加工新技术.本文介绍了ELID 磨削技术的基本原理、工艺特点和国内外研究应用情况.应用ELID磨削技术,可对工程陶瓷等硬脆材料实现高效率磨削和精密镜面磨削.

关键词: 精密和超精密加工 , 磨削 , 砂轮 , 修整

不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究

黄树涛 , 于骏一 , 姚英学 , 袁哲俊

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1999.03.014

研究了金刚石薄膜在WC-6%Co硬质合金、金属W和单晶Si片上的成核特点.实验结果表明,金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同.用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶Si片上的成核密度有较大影响,而对在WC-6%Co硬质合金和金属W上的成核密度没有太大影响.

关键词: 金刚石薄膜 , 成核密度 , 衬底材料 , 化学气相沉积

金刚石薄膜在硬质合金基体上的生长及附着强度研究

黄树涛 , 姚英学 , 于宏 , 李剑锋 , 袁哲俊

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.036

硬质合金是制作金刚石薄膜涂层刀具的重要基体材料,金刚石薄膜在硬质合金基体上的成核、生长及界面特征直接影响其附着强度.本文通过扫描电镜、X射线衍射分析、X射线光电子谱(XPS)及断续切削实验,研究了硬质合金基体含Co量对金刚石薄膜成核、生长及附着强度的影响.研究结果表明,经酸洗处理后,硬质合金基体含Co量对金刚石薄膜成核、生长没有太大影响.但对其附着强度有很大影响.含Co量越高,附着强度越低.酸腐蚀去Co处理后基体表面变得疏松、不连续非金刚石碳界面的存在及热膨胀系数较大是含Co量较高时,附着强度下降的主要原因.

关键词: 金刚石薄膜 , 硬质合金基体 , 成核 , 生长 , 附着强度

燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究

黄树涛 , 张志军 , 姚英学 , 袁哲俊

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1999.01.015

采用燃焰法在大气环境下以30μm/h的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜.实验结果表明,较高的V(O2)/V(C2H2)和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件;提高反应气体中氧气浓度,可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽.

关键词: 燃焰法 , 金刚石薄膜 , 化学气相沉积

金刚石薄膜涂层刀具的破损机理研究

黄树涛 , 许立福 , 姚英学 , 袁哲俊

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.02.035

切削过程中金刚石薄膜从基体表面的破损剥落是金刚石薄膜涂层刀具的一种主要损坏形式.本文通过实验研究了金刚石薄膜涂层刀具的破损机理及刀具表面状态、切削用量对其损坏形式的影响.研究结果表明,较大的切削用量、机械冲击、交变切削载荷及积屑瘤频繁脱落等是导致金刚石薄膜涂层刀具破损剥落的主要原因.金刚石薄膜的破损剥落起始于薄膜与基体之间及薄膜底面金刚石晶粒之间的原始微小间隙缺陷,这些原始微小间隙缺陷是在沉积金刚石薄膜时,由于成核密度较低等原因而形成的.金刚石薄膜剥落时薄膜的断裂主要沿晶界发生.

关键词: 金刚石薄膜涂层刀具 , 破损机理 , 切削性能

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