高俊宁
,
袁妍妍
,
何亦辉
,
于晖
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仝俊利
,
王涛
,
介万奇
功能材料
采用场发射扫描电镜和X射线衍射技术研究了生长结束后的降温过程对以近空间升华法生长的CdZnTe薄膜形貌与结构的影响。分析了快速（炉冷，673K以上-8K／rain）和慢速（-2K／min）两种降温速率下获得的CdZnTe薄膜的结构与形貌，并考察了降温中是否阻断生长源向薄膜的传质的影响。结果表明，所得到的薄膜均为闪锌矿结构，降温时薄膜的持续生长将抑制晶粒在平面内铺展而使其棱角钝化的趋势，以较慢的速率降温和降温时阻断传质均有利于提高薄膜的致密度，降低粗糙度及薄膜的织构强度。
关键词:
Ⅱ—Ⅵ族半导体
,
CdZnTe薄膜
,
近空间升华
袁妍妍
,
介万奇
,
高俊宁
,
查钢强
功能材料
采用近空间升华法(close-spaced sublimation,CSS),以CdZnTe化合物粉料为原料制备了CdZnTe薄膜,采用XRD、SEM、紫外光谱仪等对其进行了性能表征,并研究了不同生长温度对薄膜生长速率、结构、Zn含量和光学特性的影响规律.研究结果表明,薄膜的生长速率随着生长温度的升高而增大,且温度>528℃时生长速率迅速增大;不同温度下制备的CdZnTe薄膜结构均为立方相,且都表现出沿(111)晶面的择优生长,高温时择优取向更强一些;晶粒尺寸随着温度升高而增大,在438℃时颗粒尺寸约为1μm,而568℃时约为20tμm;薄膜禁带宽度受温度影响不大,在1.49～1.51eV之间.
关键词:
CdZnTe薄膜
,
近空间升华法
,
太阳能电池
,
形貌
,
结构
