欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(1)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

100μm大晶粒多晶硅薄膜的铝诱导法制备

唐正霞 , 沈鸿烈 , 解尧 , 鲁林峰 , 江枫 , 沈剑沧

功能材料

以Corning Eagle 2000玻璃为衬底,用磁控溅射法制备了glass/a-Si/SiO_2/Al叠层结构,于Ar气保护下退火,制备了具有很强的(111)择优取向,最大晶粒尺寸达100μm的铝诱导晶化多晶硅薄膜.研究结果表明,非晶硅的氧化时间越长,所制备的多晶硅晶粒尺寸越大,当氧化时间达约47h后,再延长氧化时间对薄膜性能的影响不明显.还发现退火温度越高,晶粒越小,但是反应速率越快.

关键词: 薄膜 , 多晶硅 , 铝诱导晶化 , 氧化时间

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词