欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(1)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

衬底温度对沉积的NiTi薄膜晶化行为的影响

李永华 , 纪红 , 孟繁玲 , 邱利霞 , 郑伟涛 , 王煜明

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.03.008

将采用直流磁控溅射方法制备的NiTi薄膜沉积在热的衬底上,应用X射线散射和小角X射线散射技术研究了NiTi合金薄膜中生成的晶化粒子的界面特征和晶粒大小.结果表明:衬底加热可降低薄膜的晶化温度,衬底温度在350℃以上,溅射的NiTi薄膜已部分晶化;衬底温度在350、370℃和420℃溅射的NiTi薄膜,对应的晶化粒子的半径分别是2.40、2.59、2.81 nm;薄膜中的晶化粒子以形核长大的方式进行,结晶粒子与基底之间有清晰的界面.

关键词: NiTi薄膜 , 晶化粒子 , 小角X射线散射

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词