邵起越
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袁涛
,
李爱东
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董岩
,
方峰
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蒋建清
,
刘治国
功能材料
通过一种简便可行的合成工艺,成功合成了3种具有良好挥发性的无碳前体:无水硝酸钛、硝酸锆和硝酸铪.以这些无水金属硝酸盐为前体,采用化学气相沉积(CVD)工艺成功淀积了具有良好介电性能的3种高介电常数(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和HfO2薄膜.这类不含碳的金属前体能直接在Si衬底上气相沉积,无需引入氧化气体,且沉积温度较低,可避免低介电常数界面层生成,在化学气相沉积栅介质薄膜方面独具优势.
关键词:
无水硝酸盐
,
化学气相沉积(CVD)
,
高介电常数(high-k)栅介质
韩学林
,
董岩
,
沈超
,
陈蓉
,
邵起越
,
蒋建清
功能材料
用化学共沉淀法制备出BaAl12O19:Mn2+绿色荧光粉,并研究了沉淀工艺参数对该荧光粉性能的影响.结果表明,通过严格控制pH值等共沉淀条件,可以获得Al3+、Ba2+、Mg2+、Mn2+离子的完全沉淀,并使其中的Al3+以结晶碳酸铝铵形式沉淀,沉淀产物经1200℃×1h煅烧后得到松软超细粉体;调节料液中Mg的掺杂量,制备出单相BaAl12O19:Mn2+荧光粉;料液滴加速度,陈化时间对荧光粉的颗粒大小和形貌有很大影响,通过试验给出了最佳滴加速度及陈化时间范围;该荧光粉的发光性能与商用荧光粉相当,粒度可控制在1～2μm.
关键词:
BaAl12O19:Mn3+
,
化学共沉淀法
,
荧光粉
,
PDP
