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激光薄膜的设计与制备

徐均琪 , 郭芳 , 苏俊宏 , 邹逢

表面技术

目的 研究激光薄膜的膜系结构及提高激光损伤阈值的制备工艺.方法 基于场强优化分布,设计Si基底上3~5 μm增透、1064 nm截止的激光薄膜,对镀后的薄膜进行激光辐照处理和真空退火处理,分析薄膜的相关性能.结果 薄膜内部不同的场强分布会对其激光损伤特性产生不同的影响.在满足光学性能的情况下,采用适当的膜系结构,使膜层/膜层界面处的电场强度降低,或者使最大电场强度存在于激光损伤阈值较高的材料中,可有效提高整个膜系的激光损伤阈值.采用激光辐照处理和真空退火处理,也可以提高薄膜的激光损伤阈值.结论 经过优化设计、激光辐照和真空退火处理,最终可使Si基底上红外减反薄膜的激光损伤阈值提高到6.2 J/cm2.

关键词: 薄膜 , 激光损伤阈值 , 优化 , 退火

激光预处理对BaF2薄膜损伤性能的影响

邹逢 , 徐均琪 , 苏俊宏 , 马健波

表面技术

为了提高光学薄膜元件抗激光损伤的能力,除了寻找先进的镀膜方法及工艺外,还可采取后期处理,因为后期处理对激光损伤阈值(LIDT)也有重要影响.采用输出波长为1064nm的调QNd∶YAG激光器,对膜厚为λ/2(λ=1064nm)的单层BaF2薄膜进行激光预处理,研究了其激光损伤特性.在光斑大小一定的条件下,改变能量密度和脉冲次数,分别研究了它们对薄膜阈值的影响,得出最佳处理参数:能量密度为9.9J/cm2,脉冲次数为3次.处理后的BaF2薄膜,激光损伤阈值从未处理的16.5J/cm2提高到了29.9J/cm2.

关键词: 激光预处理 , 薄膜 , BaF2 , 激光损伤阈值

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