徐均琪
,
郭芳
,
苏俊宏
,
邹逢
表面技术
目的 研究激光薄膜的膜系结构及提高激光损伤阈值的制备工艺.方法 基于场强优化分布,设计Si基底上3～5 μm增透、1064 nm截止的激光薄膜,对镀后的薄膜进行激光辐照处理和真空退火处理,分析薄膜的相关性能.结果 薄膜内部不同的场强分布会对其激光损伤特性产生不同的影响.在满足光学性能的情况下,采用适...
关键词:
薄膜
,
激光损伤阈值
,
优化
,
退火
邹逢
,
徐均琪
,
苏俊宏
,
马健波
表面技术
为了提高光学薄膜元件抗激光损伤的能力,除了寻找先进的镀膜方法及工艺外,还可采取后期处理,因为后期处理对激光损伤阈值(LIDT)也有重要影响.采用输出波长为1064nm的调QNd∶YAG激光器,对膜厚为λ/2(λ=1064nm)的单层BaF2薄膜进行激光预处理,研究了其激光损伤特性.在光斑大小一定的条...
关键词:
激光预处理
,
薄膜
,
BaF2
,
激光损伤阈值
