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基于LIGA工艺的电铸镍材料特性

郑利兵 , 石庚辰 , 韩立

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.03.005

LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系.利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验,获得了其应力一应变曲线,通过数据处理和分析,获得了LIGA电铸镍的弹性模量、屈服极限以及断裂极限,并和纳米压痕仪测得的数据进行了对比,两者有较好的一致性.

关键词: LIGA , 电铸镍 , 材料特性 , 拉伸 , 弹性模量