材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

低剂量 SIMOX圆片线缺陷和针孔的研究

郑望 , 陈猛 , 陈静 , 林梓鑫 , 王曦

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.023

用 Secco法、 Cu-plating法分别表征了低剂量 SIMOX圆片顶层硅线缺陷、埋层的针孔密度 . 结果显示 , 低剂量 SIMOX圆片的顶层硅缺陷密度低 , 但埋层质量稍差 . 通过注入工艺和退火过 程的进一步优化 , 低剂量 SIMOX将是一种有前途的 SOI材料制备工艺 .

关键词: SOI , SIMOX , Secco , Cu-plating , 线缺陷

等离子体浸没式离子注入圆形薄片均匀性研究

江炳尧 , 郑望 , 王曦

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.016

采用PIC(Particalincall)方法考察了等离子体浸没式离子注入工艺中,样品和靶台的几何尺寸、形状及防止溅射沾污的绝缘材料对于注入离子径向分布的影响.并对模拟结果进行了讨论分析.结果表明,影响剂量分布的主要因素是基片和靶台的横向尺寸,为改善等离子体浸没式离子注入均匀性的研究提供参考数据.

关键词: PIII , PIC , 等离子鞘层

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词