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电化学刻蚀方法制备半导体材料纳米阵列

李国庆 , 刘爱民 , 潘萌 , 杜晓书 , 郭凡

功能材料

电化学刻蚀方法是一种非常简单实用的制备规则纳米阵列结构的方法.本文简述了用电化学刻蚀方法制备InP以及Si规则纳米阵列的方法.SEM图像给出了这些规则纳米阵列的结构.

关键词: 电化学刻蚀 , 多孔InP , 多孔硅 , SEM

Fe2O3微纳米管阵列的制备及场发射性能研究

叶芸 , 郭凡 , 洪春燕 , 胡利勤 , 胡海龙 , 郭太良

功能材料

首先采用草酸氧化法在Fe基片上生长FeC2O4·2H2O微纳米棒,然后再利用草酸对微纳米棒中部进行选择性刻蚀制备出FeC2O4·2H2O微纳米管,最后在400℃空气中热氧化处理2h获得Fe2O3微纳米管.XRD及ESEM分析测试表明,热氧化后的微纳米管主要成分为Fe2O3,管径约1μm,管壁厚约100nm,顶端有细小纳米尖,直径约20nm.场发射测试结果表明,Fe2O3微纳米管具有低的开启场强(2.34V/μm),大电流密度(1.5mA/cm2),高的场增强因子(10347)以及良好的发光效果.

关键词: Fe2O3微纳米管 , 场发射 , 草酸处理 , 热氧化

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