莫党
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李芳
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陈第虎
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郭扬铭
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魏爱香
功能材料
用磁过滤真空离子溅射系统,改变加在单晶Si(100)衬底上的衬底偏压,制备不同sp3C键与sp2C键比例的碳薄膜样品.测量了2.0～5.0eV光子能量范围内各个碳薄膜样品的椭偏光谱.发现该谱与碳薄膜中的sp键比例有明显的关系.我们提出一种较简便的分析解谱方法,分析所测得的各个椭偏光谱,半定量地确定各碳薄膜样品的sp3C键与sp2C键比例.所得结果还与同类样品的拉曼光谱与吸收光谱测量结果相比较,结果基本上是一致的.研究结果表明椭偏光谱方法可以发展成一种较简便的、对样品无损伤的测定功能碳薄膜中的sp3C键成分的新方法.
关键词:
碳薄膜
,
椭偏光谱
,
化学键
王正
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张曰理
,
郭扬铭
,
莫党
功能材料
用溶胶-凝胶法成功地制备出了退火温度分别为500、600、700、800、900℃的铌酸锶钡(SBN)薄膜;对制备出SBN薄膜分别进行了椭偏光谱测量研究,得到了不同退火SBN薄膜椭偏光谱参数曲线;并对测得的椭偏光谱进行了数值反演计算,得到了不同退火温度的SBN薄膜的光学常数谱.结果发现SBN薄膜的折射率和消光系数都随着退火温度的增高而增大.
关键词:
SBN薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
椭偏光谱
