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高压BICMOS电路中LDMOS的工艺开发

陆晓敏 , 王炜

功能材料与器件学报

双RESURF技术的LDMOS具有高耐压、大电流、导通电阻低的特点,通过开发与BICMOS工艺相兼容的相关工艺技术,可以使超高压开关电源电路BL8723得以成功设计,该产品的主要参数与国外同类产品相当.

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