张攀
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陈光辉
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李建隆
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姜晖琼
材料导报
简述了国内外多晶硅生产工艺的发展和现状,介绍和比较了各种多晶硅的制备方法在产能、能耗及环境友好特性等方面的特点.介绍了多晶硅CVD的原理、反应机理及其研究方法,综述了流态化多晶硅CVD的基本原理、研究现状以及存在的问题.分析表明:利用硅烷流态化技术最有希望降低多晶硅生产成本;数值模拟作为描述CVD过程的重要手段需要进一步完善其模型,特别是对流态化CVD过程,需要建立各种物理化学现象的耦合作用模型.
关键词:
多晶硅
,
流态化
,
化学气相沉积
张攀
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王伟文
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陈光辉
,
李建隆
人工晶体学报
利用基于欧拉-欧拉两相流模型,建立硅烷热分解的均相和非均相反应模型,模拟了二维流态化的多晶硅化学气相沉积过程,以及硅烷、硅烯和硅沉积速率在反应器中的分布规律.模拟结果表明多晶硅的沉积主要发生在流化床中的密相区及气泡的周围,浓度相对较小的硅烯非均相反应对多晶硅沉积的贡献约为硅烷的10％.分析了硅烷入口浓度和反应温度对硅沉积速率及转化率的影响,模拟的硅沉积速率与文献中的实验数据做了比较.
关键词:
流态化
,
化学气相沉积
,
数值分析
,
多晶硅
张攀
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王伟文
,
董海红
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吴玉雷
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陈光辉
,
李建隆
人工晶体学报
本文建立了三氯氢硅和氢气系统中混合气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合气相反应、表面反应的多晶硅气相沉积模型,利用流体力学计算软件(Computational Fluid Mechanics, CFD)Fluent6.2数值分析了气体进口速率、反应压力、表面温度和气体组成对硅化学气相沉积特性的影响,数值结果表明计算结果与相关实验数据吻合较好.分析表明在一定的条件下,硅沉积速率随温度、压力的升高而增加,在氢气浓度较高的情况下,硅沉积速率随氢气浓度增加而线性地降低.
关键词:
物质传递
,
化学气相沉积
,
数值模拟
,
多晶硅
郑新生
,
曾繁涤
,
陈光辉
高分子材料科学与工程
研究了苯并嗪二苯醚树脂固化时的体积收缩率、固化温度和固化焓变等 .结果表明,这类新型树脂在室温下,固化收缩小于环氧树脂.在高温下,固化收缩率与环氧树脂相当.它的固化温度和固化焓变受固化升温速率和催化剂的影响较大.
关键词:
苯并嗪
,
二苯醚树脂
,
固化行为
