陈高芳
,
常桥稳
,
谌喜珠
,
叶青松
,
陈立桥
,
刘伟平
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2012.01.015
金属钯薄膜作为一种新型的稀贵金属低维材料,因为其优异的物理和化学性能,在耐高温涂层、微电子、膜反应器、催化等领域有着非常重要的应用.钯薄膜优异的性能及广阔的应用前景引起人们广泛的关注.介绍了金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备钯膜用前驱体的研究进展以及MOCVD工艺中各类前驱体的优缺点,概述了其目前研究的热点和进一步研究的方向.
关键词:
金属材料
,
钯薄膜
,
前驱体
,
金属有机化学气相沉积
陈高芳
,
胡昌义
,
谌喜珠
,
叶青松
,
刘伟平
,
常桥稳
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2012.02.010
以二氯化钯和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了一种新的β二酮前驱体一双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ).通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱和单晶X射线衍射技术时其进行了表征,确定了配合物的结构组成.用热重法分析了配合物在氮气气氛中的热分解行为,当温度升到295℃,前驱体基本挥发完全,表明双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)是一种理想的MOCVD前驱体.
关键词:
有机化学
,
双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)
,
合成
,
晶体结构
