陈齐松
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王华
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许积文
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韦长成
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张玉佩
兵器材料科学与工程
以水合乙酸锌、水合乙酸锰为前驱体，利用溶胶-凝胶旋涂法在p+-Si衬底上制备Mn掺杂的ZnO阻变薄膜（MZO）。研究工艺中预热处理温度对薄膜的微观结构、阻变特性的影响，分析了薄膜高阻态和低阻态的导电机理。结果表明：经250、300℃预热处理的MZO薄膜孔洞较多，而经350℃预热处理的MZO薄膜致密，无孔洞且呈c轴择优取向生长；经不同温度预热处理所制备的Ag/MZO/p+-Si器件均呈双极性的阻变特性，但经350℃预热处理的器件样品具有更显著的阻变行为和更高的高、低电阻比RHRS/RLRS（104~106）；器件在高阻态的低压区为欧姆导电，高阻态高压区为肖特基发射电流传导，在低阻态为空间电荷限制电流（SCLC）传导。
关键词:
Mn掺杂ZnO
,
溶胶凝胶
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阻变特性
,
预热处理
韦长成
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王华
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许积文
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张小文
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杨玲
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陈齐松
人工晶体学报
采用溶胶-凝胶工艺在p+-Si基片上制备了La0.67Ca0.33MnO3薄膜,构建了Ag/La0.67Ca0.33MnO3/p+-Si三明治结构的阻变器件,研究了器件的电致阻变性能.结果表明:Ag/La0.67Ca0.33MnO3/P+-Si器件具有明显的双极性阻变特性,其高阻态(HRS)与低阻态(LRS)比(HRS/LRS)高于104,器件在高阻态和低阻态的电荷传导机制分别遵循Schottky势垒导电机制与空间电荷限制电流机制(SCLC).器件在2×103次可逆循环测试下,高、低阻态比无明显变化,表现出良好的抗疲劳特性.根据器件的高、低阻态阻抗谱,可以得到阻变效应是由器件界面的肖特基势垒的改变与器件内部缺陷填充共同作用的.
关键词:
Ag/La0.67Ca0.33MnO3/p+-Si
,
阻变性能
,
传导机制
,
溶胶-凝胶
