雷通
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王小平
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王丽军
,
张雷
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吕承瑞
,
王隆洋
材料导报
LED产业目前发展非常迅速,LED白光照明和全色显示的前景被普遍看好.宽禁带半导体在LED产业中的应用是推动LED产业向前发展的一个重要动力,并已成为很多国家研究和开发的热点.目前宽禁带半导体在LED产业中发展很快,其应用越来越广泛,相关技术也日渐成熟.综述了几种具有代表性的第三代半导体材料在LED产业中的发展和应用以及各自面临的问题.
关键词:
宽禁带半导体材料
,
SiC
,
GaN
,
ZnO
,
金刚石
,
发光二极管
吕承瑞
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王小平
,
王丽军
,
雷通
材料导报
介绍了制备氧化锌薄膜的几种主要方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、激光脉冲沉积法等;分析了氧化锌薄膜作为代替透明导电膜(ITO膜)的可行性及这方面的研究进展;阐述了氧化锌薄膜作为一种新的场发射阴极材料应用于平板显示或作为场发射电子源的研究进展,同时综述了其作为发光器件的众多优势.
关键词:
ZnO半导体薄膜
,
ITO膜
,
场发射阴极材料
,
LED
