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衬底温度对La0.8Sr0.2 MnO3/TiO2异质P-N结整流特性的影响

李彤 , 刘盾 , 裴志军 , 王雅欣 , 孙守梅 , 马兴兵 , 冯立营 , 张铭 , 严辉

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.04.012

本文利用磁控溅射法通过改变衬底温度成功制备出La0.8Sr0.2 MnO3/TiO2异质P-N结.当衬底温度升高时,LSMO/TiO2异质PN结表现出相对较好的整流特性.这可能是由于衬底温度的升高导致氧气吸收的增加,进而导致载流子浓度增大,串联电阻降低.电流电压的变温特性曲线显示随着测量温度的降低,扩散电压增大,这可能由于能带结构模型与热激活模型共同决定.值得提出的,异质P-N结结电阻随温度变化曲线呈现出单层LSMO表现的金属绝缘相变特性,并且在低测量温度时表现出随着测量温度的降低结电阻增大,这可能是由于宽带隙的TiO2的引入导致.

关键词: 异质结 , 整流特性 , 庞磁阻

SiO2衬底上PECVD-Si1-xGex薄膜研究

王光伟 , 郑宏兴 , 马兴兵 , 张建民 , 曹继华

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.02.001

在覆盖SiO2的n-Si(100)衬底上,采用等离子体增强化学沉积法(PECVD)制备Si1-xGex薄膜材料.薄膜Ge含量x及元素的深度分布由俄歇电子谱(AES)测定.对Si1-xGex进行热退火处理,以考察退火温度和时间对薄膜特性的影响.薄膜的物相通过X射线衍射(XRD)确定.基于XRD图谱,利用Scherer公式计算平均晶粒大小.Si1-xGex薄膜载流子霍尔迁移率由霍尔效应法测定.数值拟合得到霍尔迁移率与平均晶粒尺寸为近线性关系,从而得出PECVD-Si1-xGex薄膜的电输运特性基本符合Seto模型的结论.

关键词: 锗硅薄膜 , 等离子体增强化学沉积 , 热退火 , 晶相成核与生长

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