吕延伟
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于晓东
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谭成文
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孙铁峰
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马昆松
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才鸿年
稀有金属材料与工程
采用冷壁化学气相沉积系统,利用H2还原WF6工艺,在纯铜管表面制备获得了高纯钨材料.在440℃沉积温度下,得到具有混合相的钨管,其压缩性能远低于在540℃条件下得到的只具有α相的钨管.由此表明,β-W的出现极大地降低了钨管的压缩性能在400℃条件下,对具有混合相的钨管进行1h保护气氛退火后,钨管材料中的β相消失,同时其压缩性能与只具有α相的沉积态钨管相近.
关键词:
CVD钨
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相成分
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压缩性能
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退火处理
