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脉冲激光沉积(PLD)法生长纳米ZnO薄膜的探索

仇旭升 , 谢可可 , 孔明光 , 汪壮兵 , 刘炳龙 , 马渊明 , 章伟 , 梁齐

材料导报

在Si衬底上用脉冲激光沉积法生长C轴取向高度一致的ZnO纳米薄膜.实验制备ZnO纳米结构,其颗粒尺寸的控制是关键.通过改变衬底温度(400～700℃)和沉积时间,获得不同的ZnO纳米结构.SEM观察,在600℃时颗粒均匀且间隔明显,且该薄膜结构为不连续膜,这与其他衬底温度下所形成的薄膜结构有很大差异.XRD显示,600～700℃结晶良好.

关键词: 纳米薄膜 , PLD , XRD