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QF1基底上可见光区宽带增透膜研究

朱华新 , 刘桂林 , 高劲松 , 王彤彤 , 李帅 , 严慧敏 , 郭颖 , 李果华

人工晶体学报

本文以QF1为基底设计了一种宽带可见光区增透膜,即:增透波长0.4~0.8 μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料.利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明平均透过率达98.43%,通过SEM的膜层截面证实膜层比设计略偏厚,导致测试透过率与设计相比略有红移,但实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性.环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中.

关键词: 光学薄膜 , 电子束蒸发物理气相沉积 , 透过率

超宽截止边带滤光片研究

朱华新 , 王彤彤 , 高劲松 , 刘桂林 , 李帅

人工晶体学报

以K9为基底设计了一种超宽截止边带滤光片,即:截止带波长0.5~0.85 μm、高透波长0.9~1.3 μm,膜层总数为57层,总厚度达6.026 μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料.利用分光光度计对该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明截止区(0.5~0.85 μm)的截止深度达5×10-3以下,截止带宽达350 nm,0.9~1.3 μm通带内的平均透过率也达到83.14%,除通带短波边缘外,实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽截止带深截止度、高通带透过率的特性.环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该边带滤光片可以应用于可靠性要求较高的环境中.

关键词: 光学薄膜 , 电子束蒸发物理气相沉积 , 滤光片

宽通带宽截止带通滤光片研究

朱华新 , 王彤彤 , 高劲松 , 刘桂林 , 李帅

人工晶体学报

本文以K9为基底设计了一种宽通带宽截止带通滤光片,即:540~750 nm为通带区域,400 ~ 520 nm、770~1100 nm为截止带区域,为实现这一特性,在K9基底的两侧分别设置长波通和短波通组合膜系,分别用于截止400~520 nm和770~1100 nm,而两者通带交集为540 ~ 750 nm,膜层总数为48层,膜层总厚度达5.03 μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料.利用分光光度计对镀有该组合膜的样品透过率进行测量,测试结果表明540~750 nm通带平均透过率达到了85.82%,通带相对半宽度达221 nm,400 ~ 520 nm和770 ~ 1100 nm的截止度分别达到1.36%和1.27%,实验结果与理论设计基本吻合,达到了宽通带宽截止的目标,环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该组合膜系可以应用于可靠性要求较高的环境中.

关键词: 光学薄膜 , 电子束蒸发物理气相沉积 , 透过率

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