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使用TDL-J75型单晶炉生长大直径YAG晶体工艺

黄永臣 , 薛抗美 , 颜声辉 , 袁文愈 , 刘鹏 , 王庆

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.01.018

本文结合作者生产、实验工作,介绍了使用TDL-J75型单晶炉,采用中频感应加热、铱坩埚引上法生长直径50~75mm、单晶重量3600g左右的YAG晶体工艺.用该工艺生长直径50mm晶体的合格率可达85%以上,生长直径75mm晶体的合格率达75%以上,因此已达到规模生产的工艺水平.

关键词: YAG晶体 , 中频感应 , 铱坩埚 , 引上法

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