靳聪慧
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史振亮
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于威
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丛日东
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张瑜
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宋登元
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傅广生
人工晶体学报
以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀(RIE)技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响.结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失.在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥型结构高度增加,表面平均反射率下降到5.63％.该结果可解释为:气压增大导致的F原子刻蚀的增强有利于锥体结构高度增加,小尺寸的SiOyFx聚合物掩模的完全刻蚀使锥型结构的尺寸逐渐均匀,而过高的气压下,掩模及晶体硅的过量刻蚀导致微结构只剩锥体底部的脊型凸起.CH4掺入导致CHx聚合物的掩模和粒子轰击效应均有增强,更有利于高纵横比锥型微结构的形成.
关键词:
反应离子刻蚀
,
锥型绒面结构
,
晶体硅
,
太阳能电池
丛日东
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崔航
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张健
,
崔啟良
无机材料学报
doi:10.15541/jim20160083
利用直流电弧等离子体方法制备出稀土氮化物ScN、YN微晶,这是一种快速、低成本、高产量的新方法,可用来制备稀土金属氮化物.结构物性表征和能谱成分分析结果表明,所制备的ScN晶体为满足化学计量比的单晶,而YN晶体为非化学计量比的多晶,其中Y的含量高于N.综合XRD、EDS、HRTEM和PL结果分析表明,YN晶体主要由大量随机取向的单晶颗粒组成,单晶颗粒间分布着一些非晶的金属Y,光谱结果分析表明YN中存在大量的N空位.此外,对样品的微观结构形成机理进行了系统分析,由于Y族金属氮化物中有限组分较高的解离压力以及产物在生长过程中经历较高的淬火速率(103 K/s),导致YN解离而形成的Y金属团簇的无序排列,进而使其在冷却过程中形成了非晶结构.
关键词:
直流电弧等离子体方法
,
ScN、YN微晶
,
化学计量比
,
非晶金属Y
