乔薇
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陈新亮
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张存善
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张德坤
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魏长春
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张晓丹
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赵颖
材料科学与工程学报
本文根据高价态差掺杂原理,采用常压烧结技术制备了低电阻率的W-Ti共掺杂ZnO陶瓷靶材（WTZO）,并研究了烧结温度及烧结气氛对靶材特性的影响。结果表明：当烧结温度为1200℃时,WTZO靶材的特性较好。随着烧结温度的升高,WTZO靶材的相对致密度先快速增大后缓慢减小,方块电阻先降低后升高。烧结气氛对WTZO靶材特性的影响显著,烧结气氛为空气时,靶材的方块电阻为12.18Ω/□,相对致密度为94.3%;当烧结气氛为高纯Ar气时,靶材的方块电阻为1.253Ω/□,相对致密度为96.7%。
关键词:
WTZO靶材
,
烧结温度
,
烧结气氛
,
相对致密度
,
方块电阻
