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碳纳米管异质结构的 ECR-CVD法制备

王志 , 巴德纯 , 于春宏 , 梁吉

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01244

使用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD), 以Fe3O4纳米粒子为催化剂, 多孔硅为基底, 采用CH4/H2和CH4/B2H6/H2两种气源在连续的CVD过程中大量合成了一种新型的纳米管异质结构. 扫描电镜(SEM) 和透射电镜(TEM)观察表明: 合成的异质结构一端是类竹节状的掺硼碳纳米管, 另一端是光滑中空的纯碳纳米管. 异质结构采用底端生长模式, 先行生长的掺硼纳米管处于纳米管结构的顶端.

关键词: ECR-CVD , junction , carbon nanotube , boron-dopedenddocument

碳纳米管异质结构的ECR-CVD法制备

王志 , 巴德纯 , 于春宏 , 梁吉

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.05.035

使用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD),以Fe3O4纳米粒子为催化剂,多孔硅为基底,采用CH4/H2和CH4/B2H6/H2两种气源在连续的CVD过程中大量合成了一种新型的纳米管异质结构.扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察表明:合成的异质结构一端是类竹节状的掺硼碳纳米管,另一端是光滑中空的纯碳纳米管.异质结构采用底端生长模式,先行生长的掺硼纳米管处于纳米管结构的顶端.

关键词: ECR-CVD , 异质结构 , 碳纳米管 , 硼掺杂

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